便攜式超聲波流量計(jì)在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

用于微芯片生產(chǎn)的外夾式流量計(jì)

液體流動(dòng)過程是半導(dǎo)體和電子元件制造行業(yè)的重要組成部分。在半導(dǎo)體和印刷電路板 （PCB） 的各個(gè)生產(chǎn)步驟中使用的流體要么是腐蝕性的，要么是超純的。由于我們的超聲波流量計(jì)安裝在外部，因此它們是這些條件的理想選擇，并且與其他儀器不同，它們不會(huì)受到介質(zhì)低電導(dǎo)率的影響。

康創(chuàng)尼克超聲波流量計(jì)為半導(dǎo)體行業(yè)的客戶提供多項(xiàng)優(yōu)勢(shì)。

多樣性

我們的超聲波流量計(jì)可測(cè)量半導(dǎo)體生產(chǎn)中發(fā)現(xiàn)的各種不同流體，從化學(xué)機(jī)械平坦化 （CMP） 中使用的磨蝕性流體到清潔過程中的酸、溶劑、表面活性劑和去離子水。

安+全

半導(dǎo)體生產(chǎn)中的許多流體具有腐蝕性或?qū)】涤泻?。去除多余銅所需的高強(qiáng)度酸可能會(huì)導(dǎo)致任何實(shí)施的侵入性技術(shù)的安+全、衛(wèi)生和測(cè)量問題。Katronic 流量計(jì)是非侵入式的，使其完全**。

經(jīng)濟(jì)

操作 Katronic 流量計(jì)來控制和驗(yàn)證沖洗過程將延長溶液的浴液壽命，降低化學(xué)成本并降低廢品率。它們還可用于檢查過量沖洗液的體積，并可以減輕廢物處理系統(tǒng)的負(fù)擔(dān)。

應(yīng)用

• 沉淀劑、還原劑和替代劑的測(cè)量

• 化學(xué)機(jī)械平坦化 （CMP） 流體的控制

• 廢水排放量的計(jì)算

• 監(jiān)測(cè)氫氟酸系統(tǒng)

• 計(jì)量板沖洗系統(tǒng)

• 超純水測(cè)量

客戶參考

• 英特爾

• ST微電子

• 希捷